セラミックフィンガ、セラミックマニピュレータ、エンドエフェクタなどとしても知られている、（セラミックマニピュレータ）は、異なる位置間で半導体ウエハを操作して移動させるためのマニピュレータの端部を構成する。それは基本的にロボットの手であるので、その熱的および寸法安定性は重要であり、それは

&39;粒子または化学的汚染物質を汚染する。#&#

ceramic Arms半導体プロセスにおいて製造全体を通してシリコンウェーハを操作して担持するために使用されます。それは大きなウェーハを処理することができ、真空チャネルは部品を保持するように設計することができます。手はあります。エンドエフェクタは、環境と対話するロボットの一部です。エンドエフェクタの構造とそれを駆動するプログラミングとハードウェアの性質は、ロボットが実行するタスクによって異なります。ロボットが何かを拾う必要がある場合、グリッパーと呼ばれるロボットハンドが最も効率的なエンドエフェクタです。

cramicsは、優れた機械的、電気的および熱的性質を持ち、高い

quality成分に最適です。ファインセラミックの耐久性は、それらを研磨機械的および熱負荷および化学的に過酷な環境に理想的にする。

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